概述：

本機(jī)控制模式：手動控制模式、自動控制模式。

主要特點：

清洗規(guī)格：

2inch,4cassette/Batch,25Pcs/cassette;4inch,2cassette/Batch,25 PCs/cassette.

手動方式實現(xiàn)放件，取件，槽體間傳送件；腐蝕工藝自動補(bǔ)藥液，保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性。

（溫度，時間，DIW水清洗模式、時間可調(diào)）手動由觸摸屏界面可設(shè)定。

藥液供給及補(bǔ)液方式：分體式CDS自動供夜系統(tǒng)；DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置；配有分體式廢液回收系統(tǒng)。